제우스
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제우스는 테마 3개에 묶여 있습니다. 각 테마에서 무슨 역할인지, 같은 테마에 누가 있는지 아래에 정리했습니다.
제우스 관련 테마 3개
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TSV 단계의 분진 세정 장비를 만드는 제우스는 초박형 웨이퍼 본딩·디본딩 기술 과제에도 참여한다.
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제우스는 일체형 관절 모듈을 기반으로 6축 다관절·스카라·델타 방식의 중소형 산업 로봇군을 갖추고 있다.
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제우스는 웨이퍼 표면을 씻는 세정 설비를 중심으로 디스플레이 열처리기와 로봇도 다룬다.
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